在三坐標平板上使用的三坐標測量儀可測量高精度的幾何零件和曲面；測量復雜形狀的機械零部件；檢測自由曲面；可選用接觸式或非接觸式測頭進行連續掃描。三坐標測量是指在一個六面體的空間范圍內，能夠測量，幾何形狀、長度及圓周分度等。

三坐標平板使用說明：可按照工作圖的尺寸,進行劃線工作；固定量表座,然后使量表指針停在待測物表面上方,移動待測物可檢查工件面與平板面的平行度；利用平板作基準面,配合正弦桿及角度規,可進行角度量測；將待測物與測量表座同置于平臺上，進行高度比較測量，最后可再將其高度與標準塊規相比較。

在鑄鐵三坐標平板上測量時要注意平臺工作面要平整光滑，不可有劃痕、碰傷、銹跡、及其他影響使用的外觀缺陷。三坐標測量儀可定義為“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸的位移測量系統 ( 如光學尺 ) 經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(X、Y、Z)及各項功能測量的儀器”。

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